• Bài trích
  • Nhan đề: Nâng cao chất lượng xử lý tín hiệu cho kính hiển vi giao thoa ánh sáng trắng

Tác giả CN Lê Kim Thư
Nhan đề Nâng cao chất lượng xử lý tín hiệu cho kính hiển vi giao thoa ánh sáng trắng
Tóm tắt Kính hiển vi theo nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng (WLI) đang ngày càng phát triển và dần chiếm ưu thế trong lĩnh vực đo lường cũng như phân tích bề mặt. Với khả năng xử lý tín hiệu và tái tạo bề mặt 3D của vật một cách chính xác đến cấp nanomet đã chứng minh đây là một kỹ thuật rất mạnh mẽ trong việc ứng dụng để phân tích và đu các bề mặt vi cấu trúc. Kết quả của việc khôi phục bề mặt vật phụ thuộc vào nhiều yếu tố khác nhau như độ ổn định của nguồn sáng khảo sát, sai số trung bước dịch chuyển áp điện, chất lượng của bộ ảnh giao I thua trên cảm biến camera, thuật toán xử lý tín hiệu hay tín hiệu nhiễu tạp không mong muốn.... Vì vậy trong phương pháp đề xuất lần này đã tích hợp hai bước cho việc xử lý tín hiệu giao thoa ánh sáng trắng. Đầu tiên, bộ ảnh giao thoa được tiền xử lý cho từng bức ảnh bằng thuật toán BM3D để khử bớt nhiễu ảnh. Sau đó, sử dụng thuật toán biến đổi nhanh Fourier để lọc tín hiệu kết hợp với thuật toán làm khớp tín hiệu đường bao để xác định chính xác nhất chiều cao bề mặt. Kết quả thực nghiệm khảo sát phương pháp đề xuất trên các biên dạng môn phỏng với các mức nhiễu cao khác nhau đã thể hiện sự cải tiến rõ rệt so với các phương pháp truyền thống.
Từ khóa tự do biến đổi Fourier nhanh
Từ khóa tự do Đo lường quang học
Từ khóa tự do giao thoa ánh sáng trắng
Tác giả(bs) CN Lê Anh Tuấn
Tác giả(bs) CN Trần Thanh Sơn
Tác giả(bs) CN Lê Văn
Nguồn trích Xây dựng : tạp chí xây dựng Việt nam - Bản quyền thuộc bộ xây dựng2026-6-1tr. Số: 04 Tập: 2026
00000000nab#a2200000ui#4500
00161752
0026
0043F4A2CBA-54D4-40ED-9DDD-C0BC43CAAADB
005202606011552
008081223s VN| vie
0091 0
039|y20260601155225|zcuonglv
040 |aTV EAUT
041 |avie
044 |avm
10010|aLê Kim Thư
245 |aNâng cao chất lượng xử lý tín hiệu cho kính hiển vi giao thoa ánh sáng trắng
520 |aKính hiển vi theo nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng (WLI) đang ngày càng phát triển và dần chiếm ưu thế trong lĩnh vực đo lường cũng như phân tích bề mặt. Với khả năng xử lý tín hiệu và tái tạo bề mặt 3D của vật một cách chính xác đến cấp nanomet đã chứng minh đây là một kỹ thuật rất mạnh mẽ trong việc ứng dụng để phân tích và đu các bề mặt vi cấu trúc. Kết quả của việc khôi phục bề mặt vật phụ thuộc vào nhiều yếu tố khác nhau như độ ổn định của nguồn sáng khảo sát, sai số trung bước dịch chuyển áp điện, chất lượng của bộ ảnh giao I thua trên cảm biến camera, thuật toán xử lý tín hiệu hay tín hiệu nhiễu tạp không mong muốn.... Vì vậy trong phương pháp đề xuất lần này đã tích hợp hai bước cho việc xử lý tín hiệu giao thoa ánh sáng trắng. Đầu tiên, bộ ảnh giao thoa được tiền xử lý cho từng bức ảnh bằng thuật toán BM3D để khử bớt nhiễu ảnh. Sau đó, sử dụng thuật toán biến đổi nhanh Fourier để lọc tín hiệu kết hợp với thuật toán làm khớp tín hiệu đường bao để xác định chính xác nhất chiều cao bề mặt. Kết quả thực nghiệm khảo sát phương pháp đề xuất trên các biên dạng môn phỏng với các mức nhiễu cao khác nhau đã thể hiện sự cải tiến rõ rệt so với các phương pháp truyền thống.
653 |abiến đổi Fourier nhanh
653 |aĐo lường quang học
653 |agiao thoa ánh sáng trắng
700 |aLê Anh Tuấn
700 |aTrần Thanh Sơn
700 |aLê Văn
7730 |tXây dựng : tạp chí xây dựng Việt nam - Bản quyền thuộc bộ xây dựng|d2026-6-1|gtr.|v2026|i04
890|a0|b0|c1|d0
Không tìm thấy biểu ghi nào