|
Tác giả CN
| Nguyễn Thành Đông |
|
Nhan đề
| Sai số phi tuyến chu kỳ trong giao thoa kế heterodyne sửa đổi trong phép đo dịch chuyển nhỏ Từ khóa: |
|
Tóm tắt
| Gia công siêu chính xác, công nghệ nano và bán dẫn có nhu cầu rất lớn với phép đo dịch chuyển nhỏ chính xác cao với độ phân giải nm và dưới nm. Bài báo trình bày phương pháp đánh giá sai số phi tuyến chu kỳ tồn tại trong giao thoa kế hai tần số heterodyne đo dịch chuyển nhỏ. Một hàm gán tuyến tính được sử dụng để so sánh kết quả đo. Một cấu hình Michelson sửa đổi với hai nhánh tách biệt được đề xuất để giảm sai số phi tuyến nhằm nâng cao độ chính xác. Kết quả đo cho biết sai số phi tuyến là ~20 nm trên vùng đo 2 pm (1 %). Thành phần phi tuyến X/2 và Ả/4 là 9.91 và 4.05 nm/HzI/2 tương ứng. Độ nhạy hệ đo đạt dưới mức 0.01 nm/HzI/2 trên 10 Hz. |
|
Từ khóa tự do
| Đo dịch chuyến nhỏ |
|
Từ khóa tự do
| Độ nhạy đo |
|
Từ khóa tự do
| Giao thoa kế heterdodyne |
|
Từ khóa tự do
| Hàm gán tuyến tính |
|
Tác giả(bs) CN
| Độ phi tuyến theo chu kỳ |
|
Nguồn trích
| Tạp chí cơ khí Việt Nam : Cơ quan của tổng hội cơ khí Việt Nam2025-8-13tr.
Số: 06
Tập: 2025 |
|
| 000 | 00000nab#a2200000ui#4500 |
|---|
| 001 | 58156 |
|---|
| 002 | 6 |
|---|
| 004 | 25A07031-799F-4A07-B46D-80A25990D23F |
|---|
| 005 | 202508220951 |
|---|
| 008 | 081223s VN| vie |
|---|
| 009 | 1 0 |
|---|
| 039 | |y20250822095112|zcuonglv |
|---|
| 040 | |aTV EAUT |
|---|
| 041 | |avie |
|---|
| 044 | |avm |
|---|
| 100 | 10|aNguyễn Thành Đông |
|---|
| 245 | |aSai số phi tuyến chu kỳ trong giao thoa kế heterodyne sửa đổi trong phép đo dịch chuyển nhỏ Từ khóa: |
|---|
| 520 | |aGia công siêu chính xác, công nghệ nano và bán dẫn có nhu cầu rất lớn với phép đo dịch chuyển nhỏ chính xác cao với độ phân giải nm và dưới nm. Bài báo trình bày phương pháp đánh giá sai số phi tuyến chu kỳ tồn tại trong giao thoa kế hai tần số heterodyne đo dịch chuyển nhỏ. Một hàm gán tuyến tính được sử dụng để so sánh kết quả đo. Một cấu hình Michelson sửa đổi với hai nhánh tách biệt được đề xuất để giảm sai số phi tuyến nhằm nâng cao độ chính xác. Kết quả đo cho biết sai số phi tuyến là ~20 nm trên vùng đo 2 pm (1 %). Thành phần phi tuyến X/2 và Ả/4 là 9.91 và 4.05 nm/HzI/2 tương ứng. Độ nhạy hệ đo đạt dưới mức 0.01 nm/HzI/2 trên 10 Hz. |
|---|
| 653 | |aĐo dịch chuyến nhỏ |
|---|
| 653 | |aĐộ nhạy đo |
|---|
| 653 | |aGiao thoa kế heterdodyne |
|---|
| 653 | |aHàm gán tuyến tính |
|---|
| 700 | |aĐộ phi tuyến theo chu kỳ |
|---|
| 773 | 0 |tTạp chí cơ khí Việt Nam : Cơ quan của tổng hội cơ khí Việt Nam|d2025-8-13|gtr.|v2025|i06 |
|---|
| 890 | |a0|b0|c1|d0 |
|---|
|
Không tìm thấy biểu ghi nào