|
Tác giả CN
| Lê Hữu Linh |
|
Nhan đề
| Nghiên cứu máy tự động làm sạch dị vật kích thước micro bằng khí thổi siêu âm trong công nghiệp bán dẫn |
|
Tóm tắt
| Bài báo trình bày kết quả nghiên cứu về máv tự động làm sạch dị vật kích thước micro trên sản phẩm linh kiện điện tử/bán dẫn sử dụng trong phòng sạch dựa trên tiêu chuẩn class 10 và các tiêu chuẩn sản xuất của công ty Samsung Electro-Mechanics Việt Nam. Dựa vào bài nghiên cứu về dòng khí thổi siêu âm cũng như sản phẩm của nước ngoài, nhóm đã chế tạo, kiêm thử thành công đầu thổi siêu âm thông qua đánh giá sản phẩm thực tế; cũng như dựa vào kinh nghiệm để đề xuất thiết kế phổ quát dạng máy tự động cho các ứng dụng làm sạch dạng sản phẩm phẳng. |
|
Từ khóa tự do
| Khí thối siêu âm |
|
Từ khóa tự do
| Làm sạch bằng khí thổi |
|
Từ khóa tự do
| Làm sạch dị vật kích thước micro |
|
Từ khóa tự do
| Máy tự động làm sạch |
|
Tác giả(bs) CN
| Nguyễn Xuân Thuận |
|
Tác giả(bs) CN
| Đinh Công Trường |
|
Nguồn trích
| Tạp chí cơ khí Việt Nam : Cơ quan của tổng hội cơ khí Việt Nam2025-1-2tr.
Số: 11
Tập: 2024 |
|
| 000 | 00000nab#a2200000ui#4500 |
|---|
| 001 | 56429 |
|---|
| 002 | 6 |
|---|
| 004 | F203C611-F319-45A1-ABED-0033C5553CEF |
|---|
| 005 | 202501061426 |
|---|
| 008 | 081223s VN| vie |
|---|
| 009 | 1 0 |
|---|
| 039 | |y20250106142650|zcuonglv |
|---|
| 040 | |aTV EAUT |
|---|
| 041 | |avie |
|---|
| 044 | |avm |
|---|
| 100 | 10|aLê Hữu Linh |
|---|
| 245 | |aNghiên cứu máy tự động làm sạch dị vật kích thước micro bằng khí thổi siêu âm trong công nghiệp bán dẫn |
|---|
| 520 | |aBài báo trình bày kết quả nghiên cứu về máv tự động làm sạch dị vật kích thước micro trên sản phẩm linh kiện điện tử/bán dẫn sử dụng trong phòng sạch dựa trên tiêu chuẩn class 10 và các tiêu chuẩn sản xuất của công ty Samsung Electro-Mechanics Việt Nam. Dựa vào bài nghiên cứu về dòng khí thổi siêu âm cũng như sản phẩm của nước ngoài, nhóm đã chế tạo, kiêm thử thành công đầu thổi siêu âm thông qua đánh giá sản phẩm thực tế; cũng như dựa vào kinh nghiệm để đề xuất thiết kế phổ quát dạng máy tự động cho các ứng dụng làm sạch dạng sản phẩm phẳng. |
|---|
| 653 | |aKhí thối siêu âm |
|---|
| 653 | |aLàm sạch bằng khí thổi |
|---|
| 653 | |aLàm sạch dị vật kích thước micro |
|---|
| 653 | |aMáy tự động làm sạch |
|---|
| 700 | |aNguyễn Xuân Thuận |
|---|
| 700 | |aĐinh Công Trường |
|---|
| 773 | 0 |tTạp chí cơ khí Việt Nam : Cơ quan của tổng hội cơ khí Việt Nam|d2025-1-2|gtr.|v2024|i11 |
|---|
| 890 | |a0|b0|c1|d0 |
|---|
|
Không tìm thấy biểu ghi nào